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無塵室又可稱做潔凈室(Clean Room)、清凈室、無塵車間，無塵室是指將一定空間范圍內之空氣中的微粒子、有害空氣、細菌等之污染物排除，并將室內之溫度、潔凈度、室內壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控制在某一需求范圍內，而所給予特別設計之房間。亦即是不論外在之空氣條件如何變化，其室內均能俱有維持原先所設定要求之潔凈度、溫濕度及壓力等性能之特性。無塵室最主要之作用在于控制產品(如硅芯片等)所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度，使產品能在一個良好之環境空間中生產、制造，此空間我們稱之為無塵室或無塵車間、潔凈室、清凈室。無塵室控管之項目：1、能除去空氣中飄游之微塵粒子。 2、能防止微塵粒子之產生。 3、溫度和濕度之控制。4、壓力之調節。5、有害氣體之排除。6、結構物與隔間之氣密性。7、靜電之防制。8、電磁干擾預防。9、安全因素之考慮。10、節能之考量。